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日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉

更新时间:2022-02-15

简要描述:

合测实业为日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉一级代理商/特约经销商。DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉最高工作温度500℃、洁净度100 级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

型号:厂商性质:代理商浏览量:101

日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉产品特点:

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。

最高工作温度500℃。

采用耐热高性能高效过滤器,可在洁净的环境下进行高温烘烤。

高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。

磁密封保持高气密性,采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。

标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。

日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉技术参数:

型号DTN450CDTN650C
外形尺寸(宽× 深× 高mm)1240×1010×1750 1450×1060×1960
内尺寸(宽× 深× 高mm)450×450×450660×500×660
内部容积91L216L
温度范围室温+50 ~ 500℃
温度调节精度±1.0℃(at500℃)
温度分布精度±8.0℃(at500℃)
最高温度到达时间约110 分
氧浓度20ppm 以下
氧浓度到达时间≤ 20 分(250L/min 氮气)≤ 25 分(250L/min 氮气)
洁净度温度恒定时100 级
加热方式不锈钢加热管
冷却机构不锈钢冷却水换热器
HEPA 过滤器集尘效率:0.3um 粒子99.97% 以上
排气口40KF 法兰
氮气入口Rc1/2
冷却水入口Rc3/4
热水出口Rc3/4,2 个
电源(50/60Hz)额定电流  3 相AC380V 20A3 相AC380V 27A

安全性:

门检测开关

温度过升防止器

氧浓度异常安全装置

氮气压力检测

氮气流量检测

冷却水流量检测

漏水传感器

过电流漏电漏电保护开关


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