更新时间：2023-11-13
合测实业为日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉一级代理商/特约经销商。DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉最高工作温度500℃、洁净度100 级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉产品特点：
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。
最高工作温度500℃。
采用耐热高性能高效过滤器，可在洁净的环境下进行高温烘烤。
高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低。
磁密封保持高气密性，采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。
标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。
日本雅马拓DTN450C/650C洁净厌氧高温气氛炉技术参数：
| 型号 | DTN450C | DTN650C |
| 外形尺寸（宽× 深× 高mm） | 1240×1010×1750 | 1450×1060×1960 |
| 内尺寸（宽× 深× 高mm） | 450×450×450 | 660×500×660 |
| 内部容积 | 91L | 216L |
| 温度范围 | 室温+50 ～ 500℃ | |
| 温度调节精度 | ±1.0℃（at500℃） | |
| 温度分布精度 | ±8.0℃（at500℃） | |
| 最高温度到达时间 | 约110 分 | |
| 氧浓度 | 20ppm 以下 | |
| 氧浓度到达时间 | ≤ 20 分（250L/min 氮气） | ≤ 25 分（250L/min 氮气） |
| 洁净度 | 温度恒定时100 级 | |
| 加热方式 | 不锈钢加热管 | |
| 冷却机构 | 不锈钢冷却水换热器 | |
| HEPA 过滤器 | 集尘效率：0.3um 粒子99.97% 以上 | |
| 排气口 | 40KF 法兰 | |
| 氮气入口 | Rc1/2 | |
| 冷却水入口 | Rc3/4 | |
| 热水出口 | Rc3/4，2 个 | |
| 电源（50/60Hz）额定电流 | 3 相AC380V 20A | 3 相AC380V 27A |
安全性：
门检测开关
温度过升防止器
氧浓度异常安全装置
氮气压力检测
氮气流量检测
冷却水流量检测
漏水传感器
过电流漏电漏电保护开关
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